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滑閥式真空泵，全稱滑閥式油封機械真空泵，簡稱滑閥泵，同旋片泵一樣，是一種變?nèi)莘e式氣體傳輸泵，其應(yīng)用范圍和使用條件也與旋片泵基本相同。
滑閥式真空泵由于其結(jié)構(gòu)特點，容量比旋片式真空泵大得多，因此更多地應(yīng)用與大型真空設(shè)備上。滑閥式真空泵的基本類型也分為單級與雙級兩種類型。其中單級泵中的小泵極限壓力一般不大于0.6Pa，大泵大不大于1.3Pa（均關(guān)氣鎮(zhèn)）；雙級泵的極限壓力不大于0.06Pa（關(guān)氣鎮(zhèn)）。抽速大于150L/s的滑閥式真空泵多采用單級形式。
由于滑閥式真空泵旋轉(zhuǎn)質(zhì)量有較大偏心，沒有好的質(zhì)量平衡，在運轉(zhuǎn)時會產(chǎn)生較大振動。同時由于滑閥泵的旋轉(zhuǎn)質(zhì)心運動軌跡是復(fù)雜的封閉曲線，因此很難實現(xiàn)對滑閥泵慣性力的完全平衡。這就限制了滑閥式真空泵的轉(zhuǎn)數(shù)，一般控制在350～600r/min，個別的可達(dá)到1000r/min以上。
二、滑閥式真空泵的工作原理與結(jié)構(gòu)
1、滑閥式真空泵的工作原理
滑閥式真空的主要結(jié)構(gòu)包括泵體、偏心輪、滑閥組件和導(dǎo)軌等，干式螺桿真空泵廠家珂勒曦以圖例的方式為大家展現(xiàn)其簡易工作原理。
如圖，與泵腔同心的驅(qū)動軸帶動偏心輪旋轉(zhuǎn)，偏心輪帶動滑閥環(huán)運動，使滑閥桿在導(dǎo)軌上下滑動和左右擺動。滑閥將泵腔分成A、B兩個部分。當(dāng)驅(qū)動軸按圖中所示方向轉(zhuǎn)動時，A腔容積增加，壓力降低，氣體經(jīng)入口、滑閥桿（A腔一側(cè)開口）進入A腔，此時處于吸氣過程。滑閥繼續(xù)順時針向左上位置運轉(zhuǎn)，A腔容積達(dá)到最大時，進氣口與A腔隔絕，吸氣過程結(jié)束，與此同時，B腔容積處于不斷的減小、壓縮氣體的過程。當(dāng)B腔氣體壓力達(dá)到排氣壓力時，推開油封的排氣閥，開始排氣。當(dāng)滑閥處于正上方的位置時，排氣結(jié)束（A腔容積也處于最大），新一輪的循環(huán)過程開始。
2、滑閥式真空泵的結(jié)構(gòu)特點
如圖一所示，滑閥式真空泵的主要結(jié)構(gòu)包括了泵體、偏心輪、滑閥環(huán)、滑桿、導(dǎo)軌等一系列組件。與旋片式真空泵類似，滑閥泵也設(shè)有氣鎮(zhèn)閥，氣鎮(zhèn)孔開在排氣口附近或端蓋上，以排除含可凝性蒸氣的氣體，并在泵出口設(shè)置有油氣分離器，減少泵油的損耗和對環(huán)境的污染。
下圖是典型的滑閥式真空泵結(jié)構(gòu)圖。
除了單雙級的區(qū)分外，滑閥式真空泵還有單缸、雙缸、三缸的區(qū)分，其中三缸滑閥泵較好地解決了滑閥的質(zhì)量平衡，使泵的振動得到了較好改善，轉(zhuǎn)速也相對較高。
三、滑閥式真空泵的應(yīng)用要點
滑閥式真空泵與旋片式真空泵一樣可單獨使用，同時也可作為擴散泵、油增壓泵、羅茨泵等真空泵的前級泵使用，與旋片泵相比滑閥泵更為耐用，在真空鍍膜、真空熱處理、真空燒結(jié)、分子蒸餾、航空模擬實驗的領(lǐng)域使用較多。但在遇含水蒸氣、粉塵等介質(zhì)環(huán)境，需加裝過濾裝置，也無法用于易燃易爆氣體環(huán)境以及壓縮輸送氣體。同時受限于油封式機械真空泵的特點，在一些清潔環(huán)境領(lǐng)域，如半導(dǎo)體、石化等，適用性不及一些干式真空泵。